释气

首个EUV光刻胶标准，立项！

近日，国家标准委网站公布，我国首个EUV光刻胶标准——《极紫外（EUV）光刻胶测试方法》作为拟确立标准，自10月23日起公开征询意见，截止日期为11月22日。该标准由上海大学、张江国家实验室、上海华力集成电路制造有限公司、上海微电子装备（集团）股份有限公司共同